共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，在材料生產(chǎn)檢測領(lǐng)域中用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量：半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、光學(xué)加工,、微納材料制造,、3C電子玻璃屏及其精密配件、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中，測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

VT6000中圖共聚焦顯微鏡對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能,；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

技術(shù)指標(biāo)

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度；

2）隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲,，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù)。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險。

在相同物鏡放大的條件下,，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),，橫向分辨率更高。中圖共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié),，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像,。它具有直觀測量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率,，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。